場發射掃描式電子顯微鏡

Field-emission scanning electron microscope

 

 

 

 

 

    場發射掃描式電子顯微鏡

 

        牌: 日本 JEOL JSM-6700F

 

 

主要規格:

 

1.電子槍            冷陰極型式

 

2.解析度            1.0nm (15KV)

                                                2.2nm (1KV)

 

3.電子槍真空度       10-8 Pa以下

 

4.倍率              25650,000

 

5.加速電壓             0.5 to 30 KV

 

6.探針電流           10-13 to 2×10-9 A

 

7.試片大小限制      直徑Φ25 mm × 高度10 mm

 

8.試片載台          中心式試片台

            X-Y移動範圍:70 mm x 50 mm

          旋轉範圍:360°

          工作距離:1.5 mm to 25 mm

          傾斜角度:-5° to +60°

 

9.馬達驅動載台       3 (X,Y,R)

 

10.影像輸出          儲存為*.bmp *.jpg*.tif等電子圖檔

                          video printer輸出

   光能量散譜儀

          牌英國OXFORD INCA ENERGY 350

 

   主要規格

 

1.X光偵測器   Si(Li)晶體偵測器 ,解析度133 eV (Mn Kα:5.899 keV)

     Polymer Based Thin Window(分析範圍B5~U92)

 

2.資料貯存     能譜貯存為圖形格式,配合影像以*.doc*.html輸出報表。               

     能譜可轉換為ASCII格式,以*.txt輸出,以利其他繪圖軟體編 輯。

 

 

  附 件白金鍍膜(Pt Coater)  

 

 

   

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