場發射掃描式電子顯微鏡

Field-emission scanning electron micros

 

 

 

 

 

     儀器原理及功能

 

    場發射掃描式電子顯微鏡除了跟傳統掃描式電子顯微鏡相同地可觀察物體之微結構外,它由於高電場所發射之電子束徑小,亮度高,具有傳統掃描式電子顯微鏡所明顯不及之高解析度,其解析度可高達1.0 nm(15 KV)2.2 nm(KV),另可在低電壓(可低至0.5 KV)下操作,具直接觀察非導體之功能。本儀器之製造廠商及型號為日本JEOL JSM-6700F冷陰極(Cold Cathode)場發射掃描式電子顯微鏡。冷陰極場發射電子槍較其他熱場發射(Thermal)及蕭基(Schottky)電子槍而言,其優點是電子束與能量散佈相當小,且在超高真空下操作,解析度佳。本顯微鏡另加裝了X光能量散譜儀(X-ray Energy Dispersive SpectrometerEDS),可對材料做進一步微區元素定性與定量分析。

 

 

   

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