儀器設備簡介

LED光電熱量測系統

T3Ster LED熱阻量測系統

Source Imaging Goniometer(SIG)
近場光源量測系統

薄膜應力量測系統
Thin film stress measure system

 

有機金屬化學氣相沉積系統

有機金屬化學氣相沉積系統:砷化鎵系列材料

有機金屬化學氣相沉積系統:氮化鎵/藍寶石系列材料

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有機金屬化學氣相沉積系統:氮化鎵/矽基板系列材料

有機金屬化學氣相沉積系統:氧化物系列材料

脈衝式雷射鍍膜系統

原子層鍍膜系統

電子槍蒸鍍系統

熱阻絲蒸鍍系統

濺鍍系統

電漿輔助化學氣相沉積系統

高密度耦合電漿輔助化學氣相沉積系統

製程設備

黃光微影

高密度耦合電漿輔助蝕刻系統

電鍍系統

打線機

貼合系統

量測設備

X光繞射儀

拉曼光譜儀

C-V, I-V

霍爾量測系統

掃描式電子顯微鏡

原子力顯微鏡

LED特性量測系統

元件壽命測試系統

熱阻量測系統

光學監控式電子束鍍膜系統簡介

LED量測系統

光學監控式電子束鍍膜系統

LED量測系統

高解析薄模型X光雙晶繞射儀

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白光干涉儀簡介

I

微小物測溫分析系統

薄膜特性分析儀

 

其他儀器設備照片

快速升溫退火爐

氧化爐管

曝光對準系統

電子槍鍍膜系統

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光激發光譜量測系統